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數(shù)字量MEMS氣體傳感器產(chǎn)品體積小、諧振頻率高滩援、功耗低、響應(yīng)時間短,表面體積比高,高集成化玩徊，應(yīng)用范圍較為廣泛.
紫外吸收法臭氧傳感器多用于消毒機租悄、消毒廠恩袱、消毒柜泣棋、消毒配氣等高濃度臭氧場合，可持續(xù)性檢測,擁有壽命長潭辈、精度高等特點。
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