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數(shù)字量MEMS氣體傳感器產(chǎn)品體積小谈跛、諧振頻率高羊苟、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短,表面體積比高,高集成化感憾，應(yīng)用范圍較為廣泛.
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